书目信息 |
| 题名： |
微细加工与微纳加工技术及应用
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| 作者： | 赵波 ， 李伯民 ， 李清 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 化学工业出版社 2021 |
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| 页数： | 214页 | |
| 开本： | 26cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TG66 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 特种加工--技术 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-122-36940-6 | |
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| 微细加工与微纳加工技术及应用=Micro machining and micro-nano machining technologies and applications/赵波，李伯民，李清等编著.-北京：化学工业出版社，2021 |
| 214页：图，照片；26cm |
| ISBN 978-7-122-36940-6：CNY79.00 |
| 本书分别介绍了微切削加工技术，微细电加工技术，激光的微纳米加工技术，面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术，纳米机械加工原理、方法与实现；还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。 |
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正题名：微细加工与微纳加工技术及应用
索取号：TG66/1
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| 1 | 2000902369 | 2000902369 | 第三书库/ [索取号:TG66/1] | 在馆 | |
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| 3 | 2000902371 | 2000902371 | 第三书库/ [索取号:TG66/1] | 在馆 |