书目信息 |
| 题名： |
微机电系统及工程应用
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| 作者： | 莫锦秋 ， 王石刚 ， 梁庆华 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 化学工业出版社 2015 |
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| 页数： | 191页 | |
| 开本： | 26cm | |
| 丛书名： | 现代机电一体化技术丛书 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TM38 ， TM3 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 电机--Wei Dian Ji | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-122-23883-2 | |
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| 330 | @a本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。本书的特点是信息量大、系统全面，包含了微机电系统制造过程中微机械加工、微封装、微检测各个环节；微机电系统构成中的各种微传感器、微执行器、微构件、微系统的工作机理；先进的微机电系统设计技术以及计算机辅助技术；多种设计手段和实用软件。 | |
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| 微机电系统及工程应用/莫锦秋, 梁庆华, 王石刚编著.-北京：化学工业出版社，2015 |
| 191页：图；26cm.-(现代机电一体化技术丛书) |
| 使用对象：本书可供希望了解或采用微机电系统的工程技术人员阅读，也可作为机械工程类学生学习专业选修课的参考书。 |
| ISBN 978-7-122-23883-2：CNY58.00 |
| 本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。本书的特点是信息量大、系统全面，包含了微机电系统制造过程中微机械加工、微封装、微检测各个环节；微机电系统构成中的各种微传感器、微执行器、微构件、微系统的工作机理；先进的微机电系统设计技术以及计算机辅助技术；多种设计手段和实用软件。 |
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正题名：微机电系统及工程应用
索取号：TM3/60
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