书目信息 |
| 题名： |
高数值孔径投影光刻物镜的光学设计
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| 作者： | 徐安成 著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 哈尔滨 东北林业大学出版社 2019 |
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| 页数： | 125页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TH74 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 投影光刻物镜--光学设计 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-5674-1789-2 | |
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| 高数值孔径投影光刻物镜的光学设计/徐安成著.-哈尔滨：东北林业大学出版社，2019 |
| 125页：图；24cm |
| ISBN 978-7-5674-1789-2：CNY58.00 |
| 本书共五章，内容包括：绪论、高数值孔径投影光刻物镜的设计优化、高数值孔径投影光刻物镜的偏振像差研究、高数值孔径投影光刻物镜的像质补偿策略研究、总结与展望。 |
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正题名：高数值孔径投影光刻物镜的光学设计
索取号：TH74/2
预约/预借
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| 6 | 2000978686 | 2000978686 | 中教、安徽混合/山东中教（第一批）/117/ [索取号:TH74/2] | 在馆 |