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题名:
飞秒激光共振吸收微纳制造机理与实验研究
    
 
作者: 赵新宇 著
分册:  
出版信息: 长沙   湖南科学技术出版社  2022
页数: 157页
开本: 24cm
丛书名:
单 册:
中图分类: TG665
科图分类:
主题词: 微电子技术--纳米技术--应用--飞秒激光--激光加工--研究
电子资源:
ISBN: 978-7-5710-1019-5
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    飞秒激光共振吸收微纳制造机理与实验研究/赵新宇著.-长沙:湖南科学技术出版社,2022
    157页:图;24cm
    
    
    ISBN 978-7-5710-1019-5:CNY98.00
    本书主要针对一种基于入射激光光子能量与被加工靶材电子跃迁能级差相等或相近时能够有效提高飞秒激光精密加工效率的共振吸收效应制造方法,进行了电子动力学仿真的机理研究和烧蚀效率实验研究,以阐明共振吸收制造的微观机理,同时探究该方法在实际工程应用中的影响因素和加工规律。
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正题名:飞秒激光共振吸收微纳制造机理与实验研究     索取号:TG665/3         预约/预借

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3 2000903613   2000903613   第三书库/ [索取号:TG665/3] 在馆    
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